试验真空腔体
申购人:中标后请前往中标发货菜单查看申购部门:信息科学与工程学院,信息科学与工程学院,四牌楼校区,九龙湖校区手机号码:中标后请前往中标发货菜单查看
办公电话:中标后请前往中标发货菜单查看使用币种:人民币预算金额:
预算公开:否设备类型:A02109900_其他仪器仪表
选取方式:综合或单项低价发票类型:增值税普通发票
安装要求:免费上门安装（含材料费）报价要求:国产含税
付款方式:货到验收合格后付款
签约条件:
签约时限:发布竞价结果后7天内签约合同
送货要求:供应商送货
送货时间:发布竞价结果后30天内送达
送货地址:江苏省/南京市/江宁区/****
资质要求:
申购备注:

东南大学

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申购项： 1
剩余时间： 0天11时29分28秒
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申购项： 3
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申购项： 1
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申购项： 1
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1)当选取方式为单项低价,申购明细可以分别报价，也可以只参与其中部分报价。
2)当选取方式为综合低价,要求所有申购明细都必须报价，否则报价无效。
3)当选取方式为综合或单项低价,要求所有申购明细都必须报价,采购单位可根据最终竞价情况，自由选择候选成交供应商。
4)当申购单类型为多品牌竞价,供应商可以对多个候选品牌进行报价,最终采购单位根据竞价情况,选择其中一个品牌成交。
质疑说明
如果对成交结果有异议，请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑

供应商联系人
报价前请认真填写供应商联系人信息，以便采购单位联系，并接收短信通知。
真实姓名:
姚大伟
手机号码:
15910513154
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试验真空腔体
1 / 台
定制
定制
1. 真空腔室：要求采用304不锈钢材质，腔室直径不大于Φ800mm，高度不小于800mm，要求双层水冷，至少配一套方便拆卸的防污板；前门采用锻铝材质，配备2个观察窗口； 2. 腔室烘烤：要求采用真空用加热器烘烤加热，最高温度300℃，可数显实时温度并PID控温； 3. 腔室内承载平台：可承载8英寸硅片的平台，具备旋转、升降、水冷功能； 4. 配一路质量流量控制器，量程不小于20sccm；配一台冷却循环水机，功率不低于2匹； 5. 腔室开孔：根据客户要求开具相应接口，包括但不限于：CF250分子泵抽气口，KF40前级泵抽气口，充气阀接口，放气阀接口，8英寸基片台接口，以及具备升级电子束蒸镀功能的所有接口。 6. 负责现场安装，以及将客户提供的配件与腔体组装。
按行业标准提供服务
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