序号

项目名称

建设地点

建设单位（个人）

建设项目概况

公众参与情况

相关环保措施承诺

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

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年产1万片6英寸MEMS芯片制造项目

德清县104国道东侧、金康铜业南侧的乌回山脚地块

浙江芯晟微机电制造有限公司

基于良好的市场前景，浙江芯晟微机电制造有限公司拟选址于德清县104国道东侧、金康铜业南侧的乌回山脚地块，租用浙江恒丰建设发展有限公司现有闲置工业厂房，投资19000万元，购置光刻机、涂胶显影机、键合机、硅深刻蚀机等设备，达产后将形成年产1万片6英寸MEMS芯片的生产能力。所生产的芯片可用于工业级压力传感、导航、光学、生物、基因等领域。

项目已经德清县湖州莫干山高新技术产业开发区管理委员会备案，项目代码为：2206-330521-07-02-821180。

不涉及公众参与。

业主承诺将落实好相关环保处理方案和设施

废水处理：废水采用分质分流方式进行处理。酸碱废水经单独收集后经中和+混凝+絮凝处理后纳管排放；有机废水经单独收集后经反应+絮凝+水解酸化+缺氧+接触氧化+MBR处理后纳管排放；含氟废水和喷淋废水经单独收集后一起经反应沉淀处理后纳管排放；含铬废水单独收集后经反应沉淀处理后纳管排放；磨划片废水和膜清洗废水经单独收集后一起经混凝+絮凝处理后纳管排放。生活污水经化粪池预处理后与循环冷却排污水一起纳管排放。浓水回用于生活用水和喷淋用水，蒸汽冷凝水回用于喷淋用水。

废气处理：废气采用分质分流方式进行处理。碱性清洗废气、碱性腐蚀废气（氨）：清洗、腐蚀过程设备处于密闭状态，设备内部负压抽风收集废气汇入中央酸碱喷淋塔处理，尾气通过1根20m高的排气筒（DA001）高空排放。酸性清洗废气、酸性去胶废气、含氟腐蚀废气、含氟清洗废气、含氟金属刻蚀废气、酸性刻蚀废气（氯化氢、硫酸雾、氟化物、氮氧化物）：清洗、去胶、腐蚀、刻蚀过程设备处于密闭状态，设备内部负压抽风收集废气汇入中央酸碱喷淋塔处理，尾气通过1根20m高的排气筒（DA001）高空排放。含氟干法刻蚀废气（氟化物、非甲烷总烃、臭气浓度、二氧化硫）：介质干法刻蚀和硅干法刻蚀过程均在真空条件下进行，反应结束刻蚀废气被真空系统抽走，真空泵尾气通过管道先排入Scrubber加热燃烧喷淋水洗式处理器处理，然后去中央酸碱喷淋塔吸收处理，尾气通过1根20m高的排气筒（DA001）高空排放。淀积废气（氨、氯化氢、氮氧化物）：淀积过程在真空条件下进行，反应结束淀积废气被真空系统抽走，真空泵尾气通过管道先排入Scrubber加热燃烧喷淋水洗式处理器处理，然后去中央酸碱喷淋塔吸收处理，尾气通过1根20m高的排气筒（DA001）高空排放。有机涂胶废气、有机前烘废气（非甲烷总烃、臭气浓度）：涂胶、前烘过程设备处于密闭状态，设备内部负压抽风收集废气汇入活性炭吸附塔处理，尾气通过1根20m高的排气筒（DA002）高空排放。有机显影废气、有机刻蚀废气（非甲烷总烃、甲醇、三甲胺、臭气浓度）：显影、刻蚀过程设备处于密闭状态，设备内部负压抽风收集废气汇入活性炭吸附塔处理，尾气通过1根20m高的排气筒（DA002）高空排放。有机湿法去胶废气、有机清洗废气（非甲烷总烃、臭气浓度）：湿法去胶、有机清洗过程设备处于密闭状态，设备内部负压抽风收集废气汇入活性炭吸附塔处理，尾气通过1根20m高的排气筒（DA002）高空排放。有机干燥废气（非甲烷总烃、臭气浓度）：干燥过程设备处于密闭状态，设备内部负压抽风收集废气汇入活性炭吸附塔处理，尾气通过1根20m高的排气筒（DA002）高空排放。含氯刻蚀废气（氯气）：刻蚀过程在真空条件下进行，反应结束含氯刻蚀废气被真空系统抽走，真空泵尾气通过管道汇入一级碱喷淋塔处理，尾气通过1根25m高的排气筒（DA003）高空排放。

固废暂存与处置：一般固废仓库位于厂区北侧，面积约100m2，危废仓库位于厂区北侧，面积约50m2。生活垃圾委托当地环卫部门清运；一般固废出售给废旧物资回收公司，危险废物委托资质单位进行处置。

噪声防治：选用噪声低、振动小的设备；对高噪声设备加设减振垫；合理布置设备位置；安装隔声门窗。

环境风险防范：分区防渗：生产车间、污水站、化学品库、危废仓库为重点防渗区；纯水站、PCW站、特气房、一般固废仓库等为一般防渗区；办公等其他区域为简单防渗区。