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环境影响评价机构

项目概况

主要环境影响和环境保护对策与措施

相关部门意见

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重庆光掩膜版制造项目

重庆市两江新区鱼嘴组团Q14-2/04（鱼复园区）

重庆迈特光电有限公司

重庆环科源博达环保科技有限公司

占地面积32468m2，总投资220100万元，建设光掩膜版生产线1条，使用进口石英基板、保护膜等原材料，通过光刻描画、显影和蚀刻等工艺技术，形成年产2250张光掩膜版的生产能力，同时配套建设一般工业固体废物和危险废物暂存间、废液罐区、污水处理系统等公辅设施和环保设施。

总投资220100万元，环保投资4000万元。

新建项目对环境的影响主要为运营期的环境影响。

（1）废气：

项目产生的废气主要包括酸碱废气、污水处理站臭气、有机废气。生产厂房内废气处理情况及排气筒布置情况如下：

酸碱废气排气筒：预涂清洗、Resist剥离工序产生的碱雾，显影及清洗工序、工艺清洗工序和贴膜前清洗工序产生的氨气，MoSi蚀刻工序产生的氟化物和工艺清洗工序和贴膜前清洗工序产生的硫酸雾，厂区污水处理站调节池、二沉池、污泥脱水间等产生的臭气，通过分别通过3套“碱喷淋”装置处理后经25m高排气筒（DA001）排放。

有机废气排气筒：对HMDS处理、resist涂布、端面resist去除工序产生的有机废气设置“二级活性炭吸附”装置1套，处理后的废气经25m高排气筒（DA002）排放。

锅炉废气排气筒：锅炉燃料为天然气，采用低氮燃烧措施，经15m高排气筒（DA003）排放。

因此，正常情况下，营运期废气不会对周围环境和环境敏感点产生不利影响。

（2）废水：

项目产生的废水主要包括碱性废水、有机废水、含铬废水、酸性废水、废气处理系统排水、纯水制备废水、循环水系统排放、真空蒸发装置废水和生活污水。

生产废水分4类收集处理，其中分为碱性废水、有机废水、含铬废水和酸性废水，含铬预处理系统能力为7m3/d，有机废水和碱性废水预处理系统能力为200m3/d，末端中和池处理能力为500 m3/d。酸性废水、纯水制备废水、循环水排水与预处理后的废气处理排水、有机废水、碱性废水和真空蒸发器排水经过中和处理后排入市政管网。生活污水产生量为11.88m3/d，经过生活一体化处理设施（规模为20m3/d）处理后，从生活污水排口排入市政管网；循环冷却水废水排放量为72m3/d，纯水制备设备排水量为164m3/d，两者经过中和池后一同从厂区生产废水排口排入市政污水管网。

因此，项目废水对周围环境的影响较小。（3）噪声：

本项目的噪声主要由涂布机、涂布前清洗机、蚀刻机、洗净机、各类泵、风机等产生，高噪声设备主要集中于厂房内，本项目生产设备属于精密设备，噪声值较低，都位于封闭的生产厂房，且内部采用墙壁分隔为多个生产车间，因此，生产设备经过基础减振、建筑隔声之后，传到厂房外噪声很小。经预测拟建项目建成后，企业东、南、西、北厂界噪声昼间、夜间影响贡献值均满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准要求。

因此，项目噪声对周围环境的影响较小。

（4）固体废物：

固体废物的处置遵循分类原则、回收利用原则、减量化原则、无害化原则。

废涂布材料、废有机溶剂、含氟废液、含铬污泥、废渣、有机废水污泥、沾染物（废手套、废抹布等）、废活性炭、废机油、废树脂等属于危险废物，交有资质单位处置；废保护膜等属于一般工业固废，外售给物资回收部门；生活垃圾交环卫部门统一处置。

固体废物若处置不当（如随便丢弃、倾倒、堆置、焚烧等），将会对周边环境和人群产生直接危害。因此，企业需要强化固体废物产生、收集、贮运各环节的管理，杜绝固废在厂区内的散失、渗漏。各种固废在厂内应分别设置堆存专门容器或临时场地堆存。堆存场地按照有关规范修建围墙并作防渗处理。做好固体废物在厂区内的收集和储存相关防护工作，收集后进行有效处置。建立完善的规章制度，以降低固体废物散落对周围环境的影响。尤其值得注意的是，需在厂内临时存放的固废，应采取严格的防风、防晒、防雨、防渗等措施，避免其对环境产生危害。禁止将生活垃圾同工业固废混合堆放。

对不同类型的固体废物进行分类收集、储存、处理和处置，在执行评价提出的危险废物临时贮存和转移控制措施，加强管理的前提下，固体废物不会对环境造成二次污染影响。

拟建项目所产固体废弃物去向明确、合理、安全，采取上述措施分类妥善处置，符合环保要求，对周边环境影响小。（5）风险

项目制定了较为周全的环境风险防范措施和应急预案，当发生风险事故时立即启动事故应急预案，能确保事故不扩大，不会对周边环境造成较大危害。评价认为在采取有效风险防范措施和应急预案后，项目环境风险可防控。

综上所述，采取以上措施后不会产生二次环境污染。

重庆两江新区经济运行局备案（项目编码：2210-500105-04-05-282026）